日本三豐輪廓測(cè)量?jī)x作為一臺(tái)具有高性能的3D測(cè)量設(shè)備，運(yùn)用了共聚焦、干涉和多焦面疊加，將三大技術(shù)集于一體，且不用任何運(yùn)動(dòng)部件，適合于高斜率表面、有高的垂直分辨率和短時(shí)間測(cè)量形貌特征等多種情況的使用。

 

　　高數(shù)值孔徑（0.95）和高放大倍率（150X）的物鏡可用于測(cè)量局部斜率超過70°的光滑表面以及斜率高達(dá)86°的粗糙表面。也能測(cè)量從光滑到適度粗糙的表面，可在所有數(shù)值孔徑下實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的垂直分辨率，還能用于測(cè)量大面積粗糙表面，適用于工具加工的應(yīng)用。

 

　　日本三豐輪廓測(cè)量?jī)x在使用前和使用一段時(shí)間后，需要做校準(zhǔn)和調(diào)整，分別要做兩個(gè)部分的調(diào)試：

 

　　一、調(diào)水平

 

　　1、把40mm和20mm標(biāo)準(zhǔn)塊用酒精清洗后壓在一起，要求無間隙，50mm量塊在下面放在載物臺(tái)。

 

　　2、打開軟件點(diǎn)軟件測(cè)量→點(diǎn)調(diào)水平→輸入測(cè)量長(zhǎng)度（量塊的有效長(zhǎng)度20-30之間）→點(diǎn)調(diào)水平，測(cè)量結(jié)束后會(huì)彈出測(cè)量結(jié)果。

 

　　3、差值在24um以內(nèi)則OK，否則調(diào)節(jié)載物臺(tái)水平調(diào)節(jié)螺絲至差值在24um以內(nèi)。

 

　　二、調(diào)試壓力

 

　　1、把校正表水平放置載物臺(tái)上，用載物臺(tái)的臺(tái)鉗輕輕夾住，讓探針接觸校正表（位置在校正表凹點(diǎn)向內(nèi)2-3mm），旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器上下調(diào)節(jié)手輪至計(jì)數(shù)器上Z1數(shù)據(jù)為0，（打開軟件新建一個(gè)窗口看Z1數(shù)據(jù)，看軟件左側(cè)刻度）讀取校正表數(shù)值。（探針下面墊布，防止探針滑落撞擊載物臺(tái)而損壞）

 

　　2、校正表讀數(shù)在30±5mmN以內(nèi)OK，如不在則調(diào)整。

 

　　3、調(diào)整時(shí)打開砝碼下面驅(qū)動(dòng)器上的蓋板，松開砝碼上的鎖緊螺釘左右調(diào)節(jié)至校正表讀數(shù)在30±5mmN以內(nèi)，然后鎖緊砝碼上的鎖緊螺釘蓋上蓋板。